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產(chǎn)品&服務(wù)

Products & services

• 勻膠顯影機

  12英寸勻膠顯影機 ACD12

  8英寸勻膠顯影機 ACD8

  6英寸勻膠顯影機 ACD6

  6英寸勻膠顯影機 ACD6 S

• 去膠剝離機
• 單片清洗機
• 噴膠機
• 單片濕法刻蝕機
• 晶圓搬運顯微鏡

• 

噴膠機 ASP系列

SPRAY COATER

• 詳細描述

設(shè)備配置  2-4 chambers (option: COT、DEV)
襯底材質(zhì)  Si、Glass等
適用工藝  深孔噴膠TSV、高深寬比臺階噴膠
工藝指標  平面均勻性≤5%@5-10µm、臺階覆蓋率≥30%
應(yīng)用領(lǐng)域  先進封裝、MEMS、科研等
設(shè)備尺寸  2665*2825*2550mm(W*D*H)
技術(shù)特征：

適用于表面刻有深孔的高表面形貌圓形或方形基片的噴涂工藝要求，超聲波霧化光刻膠膠粒

可均勻覆蓋臺階表面、邊緣、側(cè)壁、底部；

設(shè)備可配置勻膠腔體和顯影腔體；